Espisipiko nga mga Aplikasyon han mga Panlimpyo han Plasma .

An mga makina ha paglimpyo/pag-etch han plasma naghihimo hin plasma pinaagi han pagbutang hin duha nga electrode ha usa nga surudlan nga sealado basi makahimo hin electric field. An bomba han bakante ginagamit ha pagtipig hin usa nga lebel han bakante. Samtang nagtitikagutiay an gas, nagtitikadamu liwat an distansya butnga han mga molekula ngan an libre nga pagkiwa han mga molekula o mga ion. Ha impluwensya han elektrisidad, ini nga mga ion nagkakabangga ngan nagigin plasma. Ini nga mga ion reaktibo hinduro, may-ada igo nga enerhiya ha pagbungkag han haros ngatanan nga kemikal nga mga bugkos, nga nag-aaghat hin kemikal nga mga reaksyon ha bisan ano nga nabubuhayhag nga bawbaw. An iba-iba nga plasma han gas may-ada iba-iba nga kemikal nga mga kinaiya. Pananglitan, an plasma han oksihina nakakaoksihena gud, may kapas ha pag-oksihena han photoresist basi makahimo hin gas, salit nakakab-ot hin paglimpyo nga epekto. Corrosive gas plasma adunay maayong anisotropy, nga nagtapo sa mga kinahanglanon sa etching. An pagtambal pinaagi han plasma naghahatag hin lamrag, salit gintawag ito nga pag-awas han lamrag.
An mekanismo han paglimpyo han plasma nasarig labi na ha "pag-aktibo" han aktibo nga mga partikulo ha plasma basi makuha an mga mantsa ha bawbaw. Ha mga termino han mekanismo han reaksyon, an paglimpyo han plasma kasagaran nag-uupod han masunod nga proseso: an mga inorganiko nga gas gin-aaghat ngadto ha estado han plasma; an gas nga mga butang nasusupsop ha solido nga bawbaw; an mga grupo nga nasupsop nagrireak ha mga molekula ha solido nga bawbaw basi makahimo hin mga molekula han produkto; an mga molekula han produkto nadudunot ngadto ha bahin han gas; ngan an mga salin han reaksyon in ginkukuha tikang ha bawbaw.

An pinakamahinungdanon nga bahin han teknolohiya ha paglimpyo han plasma amo nga mahimo ini magtratar hin bisan ano nga klase hin substrate, upod an mga metal, semiconductor, oxides, ngan kadam-an nga mga materyales nga polimer sugad han polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, ngan bisan an polytetrafluoroethylene. Mahimo hito limpyohan an bug-os nga bawbaw ngan an espisipiko nga mga lugar, sugad man an komplikado nga mga istraktura.