Istruktura sa Makina sa Pag-ukit sa Plasma

ICP kagamitan panguna nga naglalakip sa upat ka bahin: pre -bakante nga kwarto, etching nga kwarto, gas nga suplay nga sistema ug bakante nga sistema.

(1) Una - bakante nga kwarto

An buruhaton han pre-bakante nga kwarto amo an pagsiguro nga an kwarto han pag-etch in gintitipigan ha gintalaan nga lebel han bakante, diri naapektuhan han gawas nga palibot (sugad han tapotapo, alisngaw han tubig), ngan nahibubulag an mga delikado nga gas tikang han malimpyo nga kwarto. Ginkokomponer ini hin tabon, maniobra, mekanismo hin pagpasa, purtahan hin pagbulag, ngan iba pa.

(2) Pag-ukit nga kwarto .

An kwarto han pag-ukit amo an panguna nga istraktura han mga gamit han pag-ukit han ICP. Mayda ini direkta nga epekto ha kadagmitan han pag-ukit, ha pagkapatindog han pag-ukit, ngan ha pagkagahi. Ang panguna nga mga sangkap sa etching nga kwarto mao ang: ibabaw nga electrode, ICP radyo frequency yunit, RF radyo frequency yunit, ubos nga electrode nga sistema, temperatura pagkontrol nga sistema, ug uban pa.

(3) Sistema sa suplay sa gas .

An sistema han paghatag han gas amo an paghatag hin iba-iba nga mga gas han pag-etch ngadto ha kwarto han pag-etch, ngan eksakto nga pagkontrol han kadagmitan han agos han gas ngan pag-agos pinaagi han tagdumara han presyur (PC) ngan tagdumara han pag-agos han masa (MFC). An sistema han suplay han gas in ginkokomponer hin botelya nga surok hin gas, tubo hin paghatag hin gas, sistema hin pagkontrol, yunit hin paghalo, ngan iba pa.

(4) Sistema han Bakwang
Mayda duha nga sistema hin bakante, usa para han pre-bakante nga kwarto ngan an usa para han kwarto hin pag-etch. An pre-bakuum nga kwarto gin-ebakwit pinaagi hin mekanikal nga bomba. Kon an lebel han bakante ha pre-bakante nga kwarto umabot la ha igintalaan nga kantidad, mahimo la abrihan an purtahan han pagbulag ha pagbalhin han wafer. An bakante ha kwarto han pag-ukit gintatagan hin mekanikal nga bomba ngan molekular nga bomba. An mga gas nga nahihimo han reaksyon ha kwarto han pag-etch in ginkukuha liwat han sistema han bakante.